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本实用新型属于悬浮区熔单晶炉技术领域,具体涉及一种连续生产的区熔炉。针对上述现有用于生产较长单晶棒的悬浮区熔单晶炉每生产一根晶体棒都需要进行一次抽真空和降真空,导致能耗及惰性气体的消耗较高,提高了工艺的成本,且生产效率较低的问题。本实用新型...该专利属于峨眉山市元素新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过峨眉山市元素新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于悬浮区熔单晶炉技术领域,具体涉及一种连续生产的区熔炉。针对上述现有用于生产较长单晶棒的悬浮区熔单晶炉每生产一根晶体棒都需要进行一次抽真空和降真空,导致能耗及惰性气体的消耗较高,提高了工艺的成本,且生产效率较低的问题。本实用新型...