下载一种VGF单晶炉、加热方法及存储介质的技术资料

文档序号:20236043

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本发明公开了一种VGF单晶炉、加热方法及计算机可读存储介质,本发明通过设置可移动加热环,通过该可移动加热环调解界面温度,从而实现对晶体的固液界面进行精确的温控。...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

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