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本发明公开一种含铜金属用的蚀刻剂组成物，包含有1wt％至25wt％的氧化剂、1wt％至30wt％的酸、0.1wt％至13wt％的铜保护剂、0.5ppm至120ppm的氯离子、0.1wt％至4wt％的铜活化剂以及余量的水。本发明的蚀刻剂组成物...
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