下载一种应用于晶格失配结构外延生长的石墨盘的技术资料

文档序号:20235926

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本发明公开了一种应用于晶格失配结构外延生长的石墨盘,所述石墨盘上形成有若干个用于放置衬底的衬底凹槽,其中,所述衬底凹槽的槽底形成有按1~20个/cm...
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