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平板显示器用钼合金溅射靶材的制备方法及靶材技术
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下载平板显示器用钼合金溅射靶材的制备方法及靶材的技术资料
文档序号:20235903
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本发明属于新材料领域,具体涉及一种平板显示器用钼合金溅射靶材的制备方法,包括:制备鉬铌毛坯合金靶材;铣削表面;热等静压;以及磨削表面,可以增加靶材密度和延展性,保证靶材成分的均匀性、减少靶材缺陷(如气孔、微裂纹等),提高靶材质量。...
该专利属于江苏迪丞光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏迪丞光电材料有限公司授权不得商用。
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