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本发明公开了一种磷化铟晶片抛光液，其组成成分为小粒径磨料6％‑30％、酸性PH稳定剂1％‑15％、防锈剂0.001％‑0.1％、杀菌剂0.001‑0.05％，其他成分是超纯水。其特征为磨料选用本公司离子交换法生产的颗粒均匀的小粒径硅溶胶为磨...
该专利属于天津西美科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津西美科技有限公司授权不得商用。

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