温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及硅片抛光设备领域，旨在提供一种硅片外圆表面抛光装置及抛光方法。该装置包括抛光装置本体、驱动组件与抛光抛头；所述抛光装置本体包括尺寸相同的圆形的上安装板与圆形的下安装板；驱动组件能实现抛光装置的正向和反向的旋转；抛光抛头包括4个横向...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。