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本申请公开了一种薄膜传感器及其制备方法,用以提升薄膜传感器的性能。本申请实施例提供的一种薄膜传感器,所述薄膜传感器包括:第一基板、第二基板、以及将所述第一基板和所述第二基板贴合的导电部件;所述第一基板包括:薄膜晶体管,所述第二基板包括:传感...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种薄膜传感器及其制备方法,用以提升薄膜传感器的性能。本申请实施例提供的一种薄膜传感器,所述薄膜传感器包括:第一基板、第二基板、以及将所述第一基板和所述第二基板贴合的导电部件;所述第一基板包括:薄膜晶体管,所述第二基板包括:传感...