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本发明提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，包括：臭氧供给系统，用于供给适量浓度的臭氧和空气混合气体；离线氧化腔体，所述离线氧化腔体为封闭容器，与所述臭氧供给系统相连；所述离线氧化腔体用于承载从生产线取下的硅片，通入臭氧后待反应完成...
该专利属于苏州昊建自动化系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昊建自动化系统有限公司授权不得商用。

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