下载3D存储器件及其制造方法的技术资料

文档序号:20223556

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本申请公开了一种3D存储器件及其制造方法。该3D存储器件包括:半导体衬底;栅叠层结构,位于半导体衬底上,包括交替堆叠的栅极导体与层间绝缘层;以及沟道柱,贯穿栅叠层结构,3D存储器件还包括贯穿沟道柱与栅叠层结构的第二隔离结构,其中,第二隔离结...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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