下载存储器及其制造方法的技术资料

文档序号:20223552

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本发明公开了一种存储器,单元结构包括:第一栅极结构、第二栅极结构、第三栅极结构、第一源漏区和第二源漏区;第一和三栅极结构对称的设置在第二栅极结构的两侧;第二栅极结构的多晶硅字线栅由二层多晶硅层叠加形成,第一多晶硅层位于底部且第一多晶硅层和对...
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