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本发明提供一种半导体器件结构及其制作方法,结构包括:衬底;P型半导体沟道及N型半导体沟道,悬空于衬底上;栅介质层,包围P型半导体沟道及N型半导体沟道;栅电极层,包围栅介质层;P型源区及P型漏区,连接于P型半导体沟道的两端;N型源区及N型漏区...该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体器件结构及其制作方法,结构包括:衬底;P型半导体沟道及N型半导体沟道,悬空于衬底上;栅介质层,包围P型半导体沟道及N型半导体沟道;栅电极层,包围栅介质层;P型源区及P型漏区,连接于P型半导体沟道的两端;N型源区及N型漏区...