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形成图像传感器的方法及图像传感器技术
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下载形成图像传感器的方法及图像传感器的技术资料
文档序号:20223509
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本公开涉及一种形成图像传感器的方法,包括:在半导体衬底中的浅沟槽中形成覆盖所述浅沟槽的壁的第一电介质材料层;在所述浅沟槽中形成覆盖所述第一电介质材料层的掺杂层,所述掺杂层具有P型掺杂剂,并且所述掺杂层中的P型掺杂剂的浓度高于所述浅沟槽周围的...
该专利属于德淮半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。
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