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本发明提供一种用于方形基片对中结构，包括支撑板、基板、对中气缸、真空立柱、第一支撑立柱、第二支撑立柱、基片和对中装置；所述基板固定安装在所述支撑板上；所述对中气缸安装在所述基板上；两个所述真空立柱对称的固定安装在所述基板上；所述第一支撑立柱...
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