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本发明提供一种扫描对准装置及其扫描方法，所述扫描对准装置包括一个半透半反镜、一组成像元件、第一对准镜组、第二对准镜组和一个透镜。入射光束经所述一个透镜的透射后转变为单一的连续光束并照射至所述一个半透半反镜；所述一个半透半反镜用于将入射至的连...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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