下载一种去除干膜的方法的技术资料

文档序号:20221105

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本发明提供一种去除干膜的方法,包括使用特定浓度乙醇胺稀释液去除干膜,降低去膜液体表面张力,使干膜裂解、剥离进而除去干膜,去除率高,同时可避免对基板金属的氧化,不良率低,工艺简单易操作,可适用于现有技术中多种干膜,具有良好应用前景。...
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