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本发明提供一种实时监测机台稳定性的装置、方法及光刻机机台，至少包括：依次通过所述扩束镜和所述楔形光学平板，将从所述晶圆平台射出的光束，转变为干涉图案，所述干涉图案由所述图像接收器所接收，通过判断所述干涉图案是否倾斜来判断所述晶圆平台是否在所...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。