温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了一种光栅结构的制备系统及制备方法，属于光栅技术领域。该光栅结构包括基底上的多个相互隔离的光栅区域，光栅结构的制备系统包括激光装置、光路系统和样品台，其中，激光装置用于提供激光束；光路系统用于将所述激光束分为至少两束相干光束，并控...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。