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本发明提供一种扫描测试方法，涉及晶体管电性参数测试领域，方法包括：根据晶体管电性测试的特性，确定扫描过程所依赖的基准值，然后以基准值为起始值开始扫描，将扫描得到的信号值与测试参数的目标值进行比较，继续向偏向目标值的方向进行渐进式扫描测试，在...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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