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本发明涉及气敏元件的制备，更涉及一种平面半导体气体传感器芯片及其制备方法。所述方法是将介孔Pd‑SnO2复合材料悬浊液滴加到叉指电极上，进行煅烧，再经冷却后即得。本发明提供的半导体气体传感器电阻下降至1M以下，气敏响应上升至90％以上；同一...
该专利属于北京镭硼科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京镭硼科技有限责任公司授权不得商用。

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