温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于片式元器件的陶瓷片磁控溅射镀膜的夹具，包括公转转盘、放置于公转转盘上表面的若干样品盘、连接公转转盘并可带动公转转盘随其同转的转动轴及用于连接并驱动转动轴转动的驱动装置，样品盘与公转转盘之间通过定位组件相对定位，样品盘上表面形成用于放...
该专利属于福建毫米电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建毫米电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。