温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆承接台，包括：底座；导轨，所述导轨垂直固定在所述底座上；箱体，所述箱体滑动连接在所述导轨上；旋转机构,所述旋转机构设在所述箱体内部且其驱动端伸出所述箱体；以及承片台，所述承片台位于所述箱体上方，且固定在所述旋转机构的...
该专利属于北京硅科智能技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京硅科智能技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。