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本实用新型公开了一种圆度检测装置，本实用新型属于半导体晶圆加工领域，包括带有显示屏的放大镜，放大镜的镜头下设置有旋转检测盘，所述旋转检测盘的旋转平面透明，且在旋转检测盘的旋转径向上设置有透明刻度板，透明刻度板上设置有至少两个位置可调的光源，...
该专利属于英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司授权不得商用。

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