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本实用新型一种旋转加热中均匀导热以保护基片质量的结构，所述结构包含有加热支撑底板(1)，所述加热支撑底板(1)上设置有加热片(2)，内嵌式载物盘(3)压合在加热片(2)上，所述内嵌式载物盘(3)上粘附有导热硅胶(4)。本实用新型一种旋转加热...
该专利属于江苏雷博科学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏雷博科学仪器有限公司授权不得商用。

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