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本发明涉及一种激光差动共焦层析定焦方法与装置，属于光学成像与检测技术领域。该方法利用后置光瞳遮挡一半测量光束，使用分光瞳差动共焦探测系统对未被遮挡的测量光束进行探测，并利用差动共焦响应曲线的绝对零点来实现高精度层析定焦。将激光差动共焦技术与...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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