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本发明涉及气压传感器领域，特别是涉及一种高灵敏度、小体积的微环光学真空计。本发明一种微环光学真空计，包括敏感元件；所述敏感元件包括Si片衬底，所述Si片衬底内部设置有空腔，所述空腔为真空腔或不同气压值空腔；所述Si片衬底表面由下至上依次沉积...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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