温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了控制加热温场提纯制备多晶硅的装置，炉体内设有隔热板、冷却盘、坩埚、加热感应圈和保温筒，保温筒内设有上段石墨发热环、中段石墨发热环和下段石墨发热环，上段石墨发热环和中段石墨发热环之间、以及中段石墨发热环和下段石墨发热环之间均设有连...
该专利属于成都斯力康科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都斯力康科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。