下载激光显微切割仪及其工作方法的技术资料

文档序号:20171821

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本发明提供了一种激光显微切割仪及其工作方法,激光显微切割仪包括激光器、物镜单元;物镜单元包括:壳体内具有沿着壳体中心轴线的光学通道;激光器设置在壳体内,出射的破膜光的波长为λ1,...
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