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本发明公开一种用于切割SiC晶体的切割液配制方法，利用SiC晶体的切割液的装置配制而成，所述SiC晶体的切割液的装置包括储液桶、进气孔隔板，压缩空气进气口、恒温水盘管、超声波发生器、电动机、搅拌叶轮和温度监控传感器；本发明用于切割SiC晶体...
该专利属于福建北电新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建北电新材料科技有限公司授权不得商用。

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