温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及陶瓷基板金属化技术领域，具体为一种陶瓷覆铜基板及其制造方法，包括以下步骤：(1)陶瓷基板清洗；(2)陶瓷基板活化；(3)陶瓷基板真空溅镀：将经过活化处理的陶瓷基板及靶材置于真空腔体内，并将惰性气体通入该腔体中，启动靶材，溅击出的靶...
该专利属于深圳嘉龙微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳嘉龙微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。