下载还原炉的技术资料

文档序号:20170077

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本发明公开了一种还原炉,涉及多晶硅生产技术领域,主要目的是提供一种能够替代现有的硅芯的还原炉,使得硅棒的生产周期减少,降低硅棒的能源消耗和生产成本。本发明的主要技术方案为:一种还原炉,包括:炉体;支撑部,所述支撑部包括底盘和电极,所述底盘连...
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