下载一种发光二极管的外延片的制备方法及外延片的技术资料

文档序号:20163059

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本发明公开了一种发光二极管的外延片的制备方法及外延片,属于发光二极管技术领域。衬底上依次生长缓冲层、N型GaN层、复合层、InGaN/GaN多量子阱层与P型GaN层时,复合层中N型低压AlN层的生长压力为100~200Torr,此时N型低压...
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