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一种半导体光控太赫兹量子阱振荡器制造技术
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文档序号:20163040
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一种半导体光控太赫兹量子阱振荡器,包括有铟砷化镓基底层,铟砷化镓基底层上端面的一端设置有金金属漏极,另一端设置有金金属源极,在金属漏极和金属源极之间且位于铟砷化镓基底层上端面由下至上依次设置有作为沟道的砷化镓层、作为第一层势垒的铝化砷层、作...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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