下载槽底肖特基接触SiC MOSFET器件的技术资料

文档序号:20163004

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本发明提供一种槽底肖特基接触SiC MOSFET器件,包括:N型衬底、N型外延层、P‑body区、P+接触区、N+接触区、氧化层、栅极、肖特基接触电极、P‑shield区、源极、漏极,本发明可以提升SiC MOSFET第三象限性能,实现了低...
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