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本发明提供了一种绝缘栅双极晶体管及其制作方法，所述绝缘栅双极晶体管包括：衬底；缓冲层，形成于所述衬底上；外延层，形成于所述缓冲层上；结型场效应结构JFET区，形成于所述外延层内，JFET区的宽度为2.5～12μm；CJI掺杂区，形成于所述J...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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