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一种LIGBT型高压ESD保护器件制造技术
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下载一种LIGBT型高压ESD保护器件的技术资料
文档序号:20162940
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本发明揭示了一种LIGBT型高压ESD保护器件,包括堆叠设置的衬底层及埋氧层,埋氧层上方覆盖有漂移层,漂移层的上端设有漏极阱与源极阱,漂移层的上端面覆盖设置有多晶硅栅极,漂移层的上端形成有掺杂区,掺杂区位于漏极阱与源极阱之间,漏极阱的上端形...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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