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脆性材料基板裂片装置及使用所述装置的裂片方法制造方法及图纸
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下载脆性材料基板裂片装置及使用所述装置的裂片方法的技术资料
文档序号:20162915
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本发明公开了一种脆性材料基板裂片装置及使用所述装置的裂片方法。所述装置包括平台,用以承载具有相对上、下表面的脆性材料基板,平台上包括多个突出结构,且脆性材料基板是通过下表面被放置于平台上的所述多个突出结构上;预切刻装置,设置于平台的上方,且...
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