下载避免芯片封装打线时导致金属介质层断裂的方法的技术资料

文档序号:20162912

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本发明公开了一种避免芯片封装打线时导致金属介质层断裂的方法,包括:1)在金属层M1的介质层IMD1中制作通孔Via1和伪通孔Via1’;2)在介质层IMD1上沉积金属层M,接着在金属层M的介质层IMD2中制作通孔Via2和伪通孔Via2’;...
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