温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种晶圆平整固定方法，在将翘曲晶圆预固定并装载至底盘上后将其边缘压平，再通过底盘上的多个吸附孔圈对整个翘曲晶圆背面的全部区域进行吸附固定，既保证了翘曲晶圆在较短的时间内获得足够大的吸附力，进而获得更好的吸附固定效果，提高固定后的平...该专利属于上海微松工业自动化有限公司;江苏弘琪工业自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微松工业自动化有限公司;江苏弘琪工业自动化有限公司授权不得商用。