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本公开提供等离子体源、用于激发等离子体的激发系统以及操作激发测量系统的方法。在一个实施例中，所述等离子体源包含：(1)同轴射频RF谐振器，其包含第一末端、第二末端、内部电极和外部电极，(2)射频接口，其电耦合到所述内部电极和所述外部电极且经...
该专利属于真实仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过真实仪器公司授权不得商用。

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