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本发明涉及一种基于MEMS技术的三维风速风向传感器及其制作方法，传感器芯片采用球形外壳封装结构，利用管道将环境风速分解为三个正交方向风速分量，并引导至传感器表面，对于水平方向的风速分量，利用中心加热元件形成温度场，热传感测温元件进行上下游温...
该专利属于常州大学所有，仅供学习研究参考，未经过常州大学授权不得商用。

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