下载一种基于交变电场的绝对式时栅直线位移传感器的技术资料

文档序号:20158139

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本发明公开了一种基于交变电场的绝对式时栅直线位移传感器,包括动尺基体和定尺基体,动尺基体下表面设有反射电极Ⅰ、感应电极、反射电极Ⅱ,反射电极Ⅰ、Ⅱ分别与感应电极相连;定尺基体上表面设有接收电极Ⅰ、激励电极和接收电极Ⅱ,激励电极的四个激励相分...
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