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化学气相沉积设备和利用其制造显示设备的方法技术
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文档序号:20155585
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提供了一种化学气相沉积设备和利用其制造显示设备的方法。所述化学气相沉积设备包括室、支撑基底的基座、施加有电力的背板、提供沉积气体的扩散器和第一绝缘体。第一绝缘体可以包括第一部分和第二部分,所述第一部分覆盖背板的顶表面,所述第二部分与第一部分...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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