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本发明涉及一种化学气相沉积铼层的装置及方法，属于航天器轨/姿控发动机推力室制备技术领域，特别涉及一种高效绿色环保沉积金属铼层的化学气相沉积装置，主要用于铼铱发动机推力室的制备。本发明通过引入前躯体再生室和冷凝收集室，既有效的利用了反应尾气，...该专利属于航天材料及工艺研究所;中国运载火箭技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过航天材料及工艺研究所;中国运载火箭技术研究院授权不得商用。