下载一种草酸铟溶解剂组合物及蚀刻设备的清洗工艺的技术资料

文档序号:20155109

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本发明公开了一种草酸铟溶解剂组合物,主要组分包含碱性组分、螯合剂、pH值调节剂和水,草酸铟溶解剂组合物的pH值为8~12;碱性组分为选自能电离生成K+的强碱弱酸盐中的一种或两种以上的组合,或者由季铵碱与至少一种能电离生成K+的强碱弱酸盐组合...
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