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本发明涉及面板显示阵列制程用新型草酸系ITO蚀刻液，以重量百分比计算，包括3.2‑3.6％的草酸、5ppm‑900ppm的表面活性剂和余量的超纯水。本发明选用新型的表面活性剂，该表面活性剂降低了表面张力以达到对微晶的控制；同时没有其他任何负...
该专利属于苏州博洋化学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州博洋化学股份有限公司授权不得商用。

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