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本发明涉及化工领域，公开了一种有机硅介微孔超低介电薄膜及其制备方法，该薄膜中POSS类有机硅烷前躯体的结构式如下：...
该专利属于淮阴工学院所有，仅供学习研究参考，未经过淮阴工学院授权不得商用。

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