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本实用新型涉及一种激光转印装置,所述装置包括:激光器、扩束器、分光镜以及聚焦模块;所述激光器用于产生激光束;所述扩束器设置在所述激光器产生的激光束的光路上,用于将激光器产生的激光束扩束;所述分光镜设置在所述扩束器扩束后的激光束的光路上,用于...该专利属于浙江清华柔性电子技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江清华柔性电子技术研究院授权不得商用。
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