激光转印装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种激光转印装置，所述装置包括：激光器、扩束器、分光镜以及聚焦模块；所述激光器用于产生激光束；所述扩束器设置在所述激光器产生的激光束的光路上，用于将激光器产生的激光束扩束；所述分光镜设置在所述扩束器扩束后的激光束的光路上，用于使扩束后的激光束经过反射后进入所述聚焦模块；所述聚焦模块设置在所述分光镜反射后的激光束的光路上，用于对激光束进行聚焦并将聚焦后的激光束投射至预定转印加工位置。利用聚焦后的激光束进行转印，激光束照射面积减小，减小了热扩散的范围，进一步的减小了对周边其他器件的影响，实现了高精度的选择性转印。

【技术实现步骤摘要】
激光转印装置
本技术涉及柔性电子制造
，特别是涉及一种激光转印装置及方法。
技术介绍
柔性电子为将有机/无机材料电子器件制作在柔性/可延性塑料或薄金属基底上的新兴电子技术，以其独特的柔性/延展性以及高效、低成本制造工艺，在信息、能源、医疗、国防等领域具有广泛应用前景。在柔性电子器件的生产制造领域，尤其是无机柔性电子技术，需要将器件从坚硬的平面基底转移至非平面柔性基底，转印技术是实现这一转移过程的关键技术。目前常用的转印技术包括：基于率相关的转印、基于微结构的转印、基于载荷调控的转印、激光驱动转印、基于形状记忆聚合物的转印等，其中以激光驱动转印更具有工业应用前景。目前的传统技术中，激光驱动转印技术通过飞秒激光器产生的脉冲激光照射形状记忆聚合物的印章表面，印章表面微结构被升温至相变温度后恢复至初始形貌，使形状记忆聚合物与带转印元器件之间接触面积减小，粘附力下降，待转印元器件从印章表面脱落至柔性基底，完成元器件的转印。但目前的激光器激光光源面积大，造成的热扩散影响其他元器件的转印，无法实现高精度的选择性转印。
技术实现思路
基于此，有必要针对热扩散影响其他元器件的转印，无法实现高精度的选择性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光转印装置，其特征在于，所述装置包括：激光器、扩束器、分光镜以及聚焦模块；所述激光器用于产生激光束；所述扩束器设置在所述激光器产生的激光束的光路上，用于将激光器产生的激光束扩束；所述分光镜设置在所述扩束器扩束后的激光束的光路上，用于使扩束后的激光束经过反射后进入所述聚焦模块；所述聚焦模块设置在所述分光镜反射后的激光束的光路上，用于对激光束进行聚焦并将聚焦后的激光束投射至预定转印加工位置。

【技术特征摘要】
1.一种激光转印装置，其特征在于，所述装置包括：激光器、扩束器、分光镜以及聚焦模块；所述激光器用于产生激光束；所述扩束器设置在所述激光器产生的激光束的光路上，用于将激光器产生的激光束扩束；所述分光镜设置在所述扩束器扩束后的激光束的光路上，用于使扩束后的激光束经过反射后进入所述聚焦模块；所述聚焦模块设置在所述分光镜反射后的激光束的光路上，用于对激光束进行聚焦并将聚焦后的激光束投射至预定转印加工位置。2.根据权利要求1所述的激光转印装置，其特征在于，所述装置还包括：成像模块；所述成像模块接收所述预定转印加工位置反射的激光束，获得所述预定转印加工位置的影像。3.根据权利要求1所述的激光转印装置，其特征在于，所述装置还包括：显示模块；所述显示模块接收所述预定转印加工位置的影像，并显示所述影像。4.根据权利要求1所述的激光转印装置，其特征在于，所述装置还包括：光源针孔；所述光源针孔设置在所述激光器与所述扩束器之间的光路上，用于消除激光束本身所存在的散射。5.根据权利要求2所述的激光转印装置，其特征在于，所述装置还包括：成像针孔；所述成像针孔设置在所述分光镜与所述成像模块之间；成像针孔的作用是过滤所述预定转印加工位置反...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯雪，张柏诚，陈颖，付浩然，蒋晔，刘兰兰，
申请(专利权)人：浙江清华柔性电子技术研究院，
类型：新型
国别省市：浙江,33