下载用于晶片允收测试的测试结构的技术资料

文档序号:20151256

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本实用新型公开了用于晶片允收测试的测试结构,所述测试结构包括多个过孔、顶端金属层以及底端金属层,其中,多个过孔通过交替的顶端金属层和底端金属层将多个过孔连接为过孔链,过孔链中过孔的间距范围为0.1um‑10um;多个过孔包括多个子区间,各子...
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